简介

第五代飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是终极的集成化成像分析系统,分辨率提升 20%,进一步增加应用范围,更加适用于对电子束敏感的样品。借助该系统,既可观察样品的表面形貌,又可分析其元素组分。

研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器,飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析,检测样品的元素组分。此外,该软件还可以扩展到元素分析线面扫(mapping)功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

规格参数

 

Phenom Pro

Phenom ProX

Phenom XL

光学放大

20 - 135 X

20 - 135 X

3 - 16 X

电子光学放大

80 - 150,000 X

80 - 150,000 X

80 - 100,000 X

分辨率

优于 8 nm

优于 8 nm

优于 14 nm

数字放大

Max. 12 X

Max. 12 X

Max. 12 X

光学导航相机

彩色

彩色

彩色

加速电压

5 Kv - 15 Kv  连续可调

5 Kv - 15 Kv  连续可调

5 Kv - 20 Kv  连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高真空模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

样品尺寸

最大直径 32 mm (Ø)

最大直径 32 mm (Ø)

最大 100 mm X 100 mm

可同时装载 36 个 0.5 英寸样品台

样品高度

最高 100 mm

最高 100 mm

最高 65 mm

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展示

案例分析

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