简介

第五代飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是终极的集成化成像分析系统,分辨率提升 20%,进一步增加应用范围,更加适用于对电子束敏感的样品。借助该系统,既可观察样品的表面形貌,又可分析其元素组分。

研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器,飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析,检测样品的元素组分。此外,该软件还可以扩展到元素分析线面扫(mapping)功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

规格参数

 

Phenom Pro

Phenom ProX

Phenom XL

光学放大

20 - 135 X

20 - 135 X

3 - 16 X

电子光学放大

80 - 150,000 X

80 - 150,000 X

80 - 100,000 X

分辨率

优于 8 nm

优于 8 nm

优于 14 nm

数字放大

Max. 12 X

Max. 12 X

Max. 12 X

光学导航相机

彩色

彩色

彩色

加速电压

5 Kv - 15 Kv  连续可调

5 Kv - 15 Kv  连续可调

5 Kv - 20 Kv  连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高真空模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

  下载飞纳电镜手册 下载飞纳电镜手册 下载飞纳电镜手册

 

展示

案例分析

复纳科学仪器(上海)有限公司 飞纳中国 版权所有