简介

秉承飞纳台式电镜系列全自动操作、快速成像、不喷金观看绝缘体、完全防震、性能稳定的特点,经过精心的设计,台式扫描电镜领军制造商荷兰飞纳公司推出了台式场发射扫描电镜 Phenom LE,将台式电镜的分辨率提升至优于 2.5nm。

台式场发射扫描电子显微镜,广泛用于半导体、生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。

组成:

  安装环境要求:

· 真空系统:高流速分子泵

  · 湿度要求:20%-80%

· 电子枪:肖特基场发射电子枪

  · 温度要求:15-30 ℃

· 电磁透镜

  · 场地要求:对震动和磁场无特殊要求

 

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规格参数

 

Phenom Pro

Phenom ProX

Phenom LE

光学放大

20 - 135 X

20 - 135 X

20 - 135 X

电子光学放大

80 - 150,000 X

80 - 150,000 X

200 - 500,000 X

分辨率

优于 8 nm

优于 8 nm

优于 2.5 nm

电子枪

CeB6

CeB6

肖特基场发射电子枪

光学导航相机

彩色

彩色

彩色

加速电压

5 kV - 15 kV  连续可调

5 kV - 15 kV  连续可调

2 kV - 15 kV  连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 

能谱探测器

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展示

案例分析

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