简介

秉承飞纳台式电镜系列全自动操作、快速成像、不喷金观看绝缘体、完全防震、性能稳定的特点,经过精心的设计,台式扫描电镜领军制造商荷兰 Phenom-World 公司推出了台式场发射扫描电镜 Phenom LE,将台式电镜的分辨率提升至优于 2.5nm。

Phenom LE 飞纳台式场发射电镜采用热场发射电子源,信噪比高,使用寿命长,保证长期稳定的性能。飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。

 

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规格参数

 

Phenom Pro

Phenom ProX

Phenom LE

光学放大

20 - 135 X

20 - 135 X

20 - 135 X

电子光学放大

80 - 150,000 X

80 - 150,000 X

200 - 500,000 X

分辨率

优于 8 nm

优于 8 nm

优于 2.5 nm

数字放大

Max. 12 X

Max. 12 X

Max. 12 X

光学导航相机

彩色

彩色

彩色

加速电压

5 kV - 15 kV  连续可调

5 kV - 15 kV  连续可调

2 kV - 15 kV  连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 

能谱探测器

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展示

案例分析

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